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電子級(jí)TMAH主要作為印刷電路板的光刻顯影液、硅晶片蝕刻劑、微電子芯片制造中的超純清洗劑等。
四甲基氫氧化銨,簡(jiǎn)稱TMAH,是一種化學(xué)式為C4H13NO的有機(jī)化合物,外觀呈無(wú)色結(jié)晶性粉末狀,可溶于水和乙醇,在化工、電子、工業(yè)清洗、橡膠、塑料等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。根據(jù)用途不同,四甲基氫氧化銨可分為工業(yè)級(jí)四甲基氫氧化銨與電子級(jí)四甲基氫氧化銨兩大類。
電子級(jí)四甲基氫氧化銨,簡(jiǎn)稱電子級(jí)TMAH,是指應(yīng)用于電子領(lǐng)域的四甲基氫氧化銨,是一種四甲基氫氧化銨和水的透明混合液。電子級(jí)TMAH主要作為印刷電路板的光刻顯影液、硅晶片蝕刻劑、微電子芯片制造中的超純清洗劑等。
電子級(jí)TMAH對(duì)純度、品質(zhì)要求較高,目前其工業(yè)化生產(chǎn)方法主要為離子膜電解法,是指以四甲基碳酸氫銨、氯化四甲基銨等為原材料,經(jīng)過(guò)電解生成四甲基氫氧化銨的方法,具有無(wú)氯氣產(chǎn)生、產(chǎn)出產(chǎn)品純度高、無(wú)污染、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)。
電子級(jí)TMAH在半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,其可作為顯影液用于液晶顯示器的金屬線路板、透明導(dǎo)電膜等部位顯影場(chǎng)景,起到對(duì)未曝光部分進(jìn)行去除作用;可作為清洗劑用于有機(jī)硅片、微電子芯片清洗場(chǎng)景,起到為封裝環(huán)節(jié)提供潔凈的界面條件作用;可作為蝕刻劑用于硅片刻蝕場(chǎng)景,起到加速刻蝕液與硅片表面的反應(yīng)速率作用。
當(dāng)前在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國(guó)轉(zhuǎn)移趨勢(shì)不斷加深背景下,國(guó)內(nèi)集成電路、液晶顯示器市場(chǎng)快速發(fā)展,進(jìn)而帶動(dòng)電子級(jí)TMAH市場(chǎng)需求不斷增加。2022年國(guó)內(nèi)集成電路市場(chǎng)規(guī)模已超11000億元、液晶顯示器市場(chǎng)規(guī)模已超600億元。在此背景下,2022年國(guó)內(nèi)電子級(jí)TMAH市場(chǎng)需求量已超12萬(wàn)噸,且需求量正以超18%的年均增速保持增長(zhǎng),市場(chǎng)發(fā)展前景廣闊。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2023-2027年中國(guó)電子級(jí)四甲基氫氧化銨(TMAH)行業(yè)市場(chǎng)行情監(jiān)測(cè)及未來(lái)發(fā)展前景研究報(bào)告》顯示,目前國(guó)內(nèi)具備電子級(jí)TMAH量產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量還比較少,僅有滄州信聯(lián)電子材料科技、杭州格林達(dá)電子材料、南京元亨化工科技、云南潤(rùn)晶工程技術(shù)集團(tuán)等少數(shù)幾家。
新思界產(chǎn)業(yè)分析人員表示,其中格倫達(dá)TMAH顯影液產(chǎn)能可達(dá)9萬(wàn)噸/年;云南潤(rùn)晶TMAH顯影液產(chǎn)品下游客戶已覆蓋三星、LG等國(guó)際面板龍頭企業(yè);信聯(lián)電子電子級(jí)TMAH產(chǎn)品已應(yīng)用到京東方、華星光電、中電熊貓、中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體顯示龍頭企業(yè)。目前我國(guó)電子級(jí)TMAH行業(yè)正在穩(wěn)步成長(zhǎng)階段,未來(lái)隨著本土企業(yè)技術(shù)不斷升級(jí)、創(chuàng)新產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)程不斷加快,行業(yè)有望迎來(lái)快速發(fā)展的黃金時(shí)期。
原文標(biāo)題?:?【深度】電子級(jí)四甲基氫氧化銨(TMAH)應(yīng)用前景廣闊 我國(guó)行業(yè)正處于穩(wěn)步成長(zhǎng)階段
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